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정밀세정

Precision Cleaning
정밀세정의 개요
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정밀세정사업이란 공정중에 발생하는 미세한 오염으로부터 부품의 수명과 모재손상을 최소화시켜 공정안정화를 도모하고,
표면 오염물 제거에 의한 Particle 감소로 생산성을 향상시킬 수 있는 사업분야로 평판 디스플레이 시장의 활황과 더불어 높은
성장세를 보이고 있습니다.
특히 Wafer 및 Glass에 직접 영향을 미치는 Chamber 내· 외부와 연결된 구성품들은 예전부터 세정의 중요성이 강조되어 왔으나
Cleaning에 대한 인식이 부족하여 지속적인 기술 개발이 이루어지지 않고 있던 분야였습니다.
그러나 많은 기업들이 Particle이 Yield에 미치는 영향, 장비 가동율, 구매비용을 줄이는 방안을 모색하면서 장비·부품의
Clean화 사업은 더욱 부각되고 있습니다.
세정 제품별 특성
Description Equipment Process Material Solution
Belljar Endura5500 Pre Clean P II Quartz Wet+Plasma
Lid-liner Endura-5500HP CVDTin Ceramic Wet+Dry
Cathode Tel-8500 Oxide Si Dry
주요 경쟁력
구분 내용
품질
  • - 검/교정된 최첨단 측정장비를 이용하여 최상의 제품 공급
  • - 1000Class 이상의 Clean-room에서 최종세척을 통해 불량률 최소화
기술
  • - Furnace, Chemical, Dry, CO₂ Cleaning 등 Precision Cleaning Method 장비보유
  • - 오염물을 박리시키는 Metal Cleaning 및 기존 Chemical 방식과 열처리
    방식을 혼용한 Ceramic Cleaning 세정을 실시
  • - 소재가공 노하우를 바탕으로 세정품의 특성을 파악 후 전문세정 실시
  • - 극저온 상태에서 CO₂세정과 RF Plasma & Wave Plasma 세정방식을
    이용한 세정으로 확대실시예정
  • - Damage depth 측정기술을 통한 과학적 공정설개
  • - Lapping, Polsing, Etching 공정의 독보적인 공정기술력 확보
가격
  • - 세정 자동화 설비구축으로 세정공정 단축
  • - Dry 세정의 확대적용으로 타사에 비해 가격경쟁력 보유