정밀세정사업이란 공정중에 발생하는 미세한 오염으로부터 부품의 수명과 모재손상을 최소화시켜 공정안정화를 도모하고,
표면 오염물 제거에 의한 Particle 감소로 생산성을 향상시킬 수 있는 사업분야로 평판 디스플레이 시장의 활황과 더불어 높은
성장세를 보이고 있습니다.
특히 Wafer 및 Glass에 직접 영향을 미치는 Chamber 내· 외부와 연결된 구성품들은 예전부터 세정의 중요성이 강조되어 왔으나
Cleaning에 대한 인식이 부족하여 지속적인 기술 개발이 이루어지지 않고 있던 분야였습니다.
그러나 많은 기업들이 Particle이 Yield에 미치는 영향, 장비 가동율, 구매비용을 줄이는 방안을 모색하면서 장비·부품의
Clean화 사업은 더욱 부각되고 있습니다.